ロール・ツー・ロール（Roll to Roll）実験装置 （真空成膜）
薄膜太陽電池・タッチパネル・有機液晶等のフレキシブル基板を低コストで作るにはRoll to Rollシステムが有効です。しかしシステムを構築する迄に多くの開発・実験が必要です。その為の試作・実験装置を提供致します。
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薄膜太陽電池、タッチパネル、液晶等用のフレキシブル基板
フレキシブル基板（PET、PI、金属薄膜、その他）へのコーティング、表面処理、改質等の研究開発、及び基板の製造プロセスの研究開発。
１．上図はシステムの一例であり、お客様の要望で如何様にも対応致します。  ２． RBP：Roots Blower Pump、DRP：Dry Pump、TMP：Turbo Molecular Pump
真空蒸着、スパッタリングなどのPVD（Physical Vapour Deposition)、CVD（Chemical Vapour Deposition)、エッチング(Etching）、プラズマ洗浄（Plasma Cleaning)
	組込み装置に関しては、お客様のご要望のものに変更出来ます。 組込み装置はお客様にてご用意頂くことでも結構です。
基板材料 （１）フレキシブル基材（PET、PI、金属薄膜、その他） （２）フィルム幅：150〜300ｍｍ （３）フィルム厚：25〜200μm (４)フィルムロール径　標準300mm 巻取りシステム Roll to Roll巻取り方式 巻取り速度：0.1〜10m/min 巻取速度制御、巻取り張力制御 コーティング用ドラム 温度制御システム 専用冷却ユニットでドラムを冷却 温度範囲：-10℃〜+80℃（暫定仕様） 予備加熱 基板材料をパネルで加熱 最高温度：200℃ スパッタリング装置 （１）スパッター カソード：デュアルマグネトロン　２セット（ インターナルタイプ） （２）電源：MF(Medium　Frequency）タイプ　２セット （３）ガス供給ユニット：２セット（Ar、O２、：２ライン） （４）プラズマ発光モニター（Plasma Emission Monitor)　１セット 真空ポンプシステム （１）主ポンプ：TMP（Turbo Molecular Pump) 4セット      ポンプ速度：ロールゾーン  ：3,000l/secX２セット      スパッターゾーン             ：1,000l/secX２セット （２）ライン：RBP(Roots Blower Pump)＋DRP(Dry Pump) （３）極低温冷凍機クライオクーラー（Ｃｒｙｏ Cooler）　２ライン 真空チャンバー 材質：ステンレススチール 前面ドア：ヒンジ付き 後部ドア：スライディングタイプ、メンテナンス＆ターゲット交換用 本体寸法 Ｄ3,600xＷ5,000xH3,000mm（max.） 周辺装置（真空ポンプ、極低温冷凍機、電源等）は含まず
真空装置に関しては豊富な経験を持ち、上記はほんの一例であり、お客様のご要望の如何なるプロセスにも、またお客様のお持ちの装置の改造・修理等にもにも対応致します。
ロール ツー ロールシステムはフィルム状の基材で作る太陽電池、薄膜太陽電池、タッチパネル、液晶、LCD、EL、有機EL、TFT、　薄膜トランジスター、各種ディスプレイ、FPD、フラットパネルデスプレイ、フレキシブル基板、等を低価格で製造する為の必須の方式で、その関連の研究開発が重要です。同時に、 真空成膜、真空蒸着、スパッタリング、プラズマ洗浄、エッチング、洗浄、CVD、PECVD、PVD、真空成膜、コーター等の周辺装置や技術が必要になります。これ等に関して問題があれば、何なりとお問合わせ下さい。

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