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| ロボット,マウンター,FAシステム の技術商社 シグマ |  |
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| プライバシーポリシー | サイトマップ | ||
| 精密 XYステージ | |||||||
| 精密 XYステージ・超精密 XYステージ、小型精密自動ステージ（手動）、セラミック XYステージ、精密XYテーブル等の特殊仕様品を特注で開発・製作を行っています | |||||||
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| 装 置 名 | 特 徴 | ||||||
| 精密 XYステージ | 最小送り追従性5ｎｍの精密
XYステージ ピッチング精度が0.9μｍ /200ｍｍの精密ステージなど特殊仕様精密ステージの製作に対応致します |
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| 精密 XYステージ ウエハー用 |
精密
XYステージにリニアガイド、ボールネジを使いながら、リニアモータ駆動の 特殊設計・組立技術で繰返し位置決め精度1μｍを実現しました。 驚く程安価です |
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| FPD ガラス基板 検査用XYステージ | ＦＰＤ ガラス基板 検査用 XYステージで小型から大型ｶﾞﾗｽ基板まで 対応します。 テーブルの内側が抜いてあるのでガラス基板の透過検査 用に最適です |
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| 小型精密自動ステージ | ステージ面が40mmX40mm～70mmX70mmのステージで分解能が 0.001mm(精密)ねじ/0.002mm（ボールねじ）を実現した標準仕様 製品で短納期で対応します |
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| 高周期ＸＹステージ | 10mmピッチで256ポイントを10ＨＺで作動（レーザー加工用） （AD） | ||||||
| 高精度Ｚステージ | 真直度0.5μｍ／500ｍｍ、高低速差2400倍で速度ムラ0.7％以下を 達成しています （ＡＤ） |
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| 顕微鏡ステージシステム ＴｙｐｅⅠ | 透過照明用大型中抜きステージ （AD） | ||||||
| 顕微鏡ステージシステム ＴｙｐｅⅡ | 電子部品の高集積化に伴い、顕微鏡を使った検査を行う場合、対物レンズ下に 小型精密自動ステージを設けた検査装置です |
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| 高精度アライメントステージ | 追随性最小値30ｎm（ボールネジ駆動）、5ｎm（ボールネジ＋ピエゾ素子駆動）を 実現しています （ＡＤ） |
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| セラミック ナノステージ 超精密 ＨＲＳ |
超精密 セラミック ナノステージと、パルスモータによる独自制御システムで、分解能 ±10ｎｍ、繰返し位置決め制度±100nmを実現 |
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| セラミック ナノステージ 超精密 ＵＲＳ |
超精密 セラミック ナノステージに、駆動分解能１ｎmの摺動型超音波モータを搭載、 静止安定性、速度ムラを極限まで抑え、分解能±10ｎmを実現 |
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| セラミック ナノステージ 超精密ＴＸ２－Ｙ－１０ |
レーザー干渉技術を応用して非接触で高精度、高分解能制御を組み込んだ、 圧電アクチェエータ駆動の超高精度ＸＹステージです |
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| 特注で特殊仕様の精密XYステージ・超精密 ステージ、セラミック XYステージ、精密 XYテーブル等の開発・製作を行っています。 | |||||||
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